众合科技参股企业——新阳硅密(上海)皇家体育(中国)官方网站技术有限公司(以下简称“新阳硅密皇家体育(中国)官方网站”),由上海新阳皇家体育(中国)官方网站材料有限公司与硅密四新皇家体育(中国)官方网站技术(上海)有限公司于2016年4月重组成立。公司注册资金7800万元,拥有3000平米厂房面积,具备1000平米万级洁净车间及业内领先的皇家体育(中国)官方网站电镀工艺专业级实验室,并创建了行业领先的皇家体育(中国)官方网站晶圆级湿制程电镀装备及皇家体育(中国)官方网站湿法装备与化学药液一体化工艺服务平台。
公司专注于皇家体育(中国)官方网站湿法制程电镀设备及相关湿法装备的研发、生产、销售及服务,主要产品有InnovaSYS单晶圆电镀设备、CleanSYS批次式清洗刻蚀设备等。
服务案例:
² 北京有研,整条清洗建线
² 上海新傲,清洗工艺升级改造
² 南京国盛,清洗工艺升级改造
² 浙江金瑞泓,清洗工艺升级改造
² 洛阳麦斯克,清洗工艺升级改造
² 46所,清洗工艺升级改造
² TI CFAB DNS 820.C安装及设备模组改造
² TI CFAB DNS 820.L安装及设备模组改造
² TI CFAB SCP 9400 安装及改造
² TI CFAB(43套)自动CO2检测/灭火系统设计与改造
² BCD 12湿法设备安装及改造,包括KAIJO,DNS,SEMITOOL
² GSMC Akrion/SCP 9400 Pre-Clean湿法设备安装/改造
² GSMC Akrion/SCP 9400有机溶剂湿法设备安装/改造
² BCD纯水加热系统安装改造
² TSMC(9套)Kaijo及DNS自动CO2检测/灭火系统设计与改造
² SIMBCD 5”升级为6”的整条线湿法设备项目
² IMECAS 5”升级为6”的整条线湿法设备项目
² 华润晶芯6”26台湿法设备工艺交付
² 上海贝岭6”整条线湿法设备项目
² SMIC成都(TI)8”线移机项目
² Tech Semiconductor移机项目
² TSMC从Atmel(England)移机的湿法设备移机项目
² 台积电DNS湿法设备SOM改SPM设备模组改造
² SK Hynix WuXi(4套)自动CO2检测/灭火系统设计与改造
² 中芯FAB1全部E200湿法设备安装及工艺调试
² CSMC KAIJO有机溶剂湿法设备兆声波机加热器改造
² SKY SILICON DNS 820.C设备模组改造
² SMIC 7台12寸JET BW3000 PRStrip移机及工艺调试项目
² 士兰3台12寸JET BW3000 PR Strip翻新机项目
² GSMC SEMITOOL有机溶剂湿法设备安装/自动CO2灭火系统